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TC Wafer

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TC Wafer

TC Wafer是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實現晶圓表面溫度的實時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之間的溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整片晶圓溫度分布；同時也可利用此傳感器來持續監控在熱處理工程中晶圓暫態溫度變化，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等。

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